18.01.2024 21:57 
11880
11880
В Зеленограде создадут первый за долгие годы отечественный ионный имплантер
Создание серии установок ионной имплантации для микроэлектронной отрасли стало инициативой консорциума зеленоградских предприятий, нацеленной на замену старого отечественного оборудования и импортозамещение.
Проект вовлекает два научно-исследовательских института, НИИТМ и НИИМЭ, расположенных в Зеленограде, а также Институт ядерной физики Сибирского отделения РАН, по информации, полученной от представителей НИИТМ, сообщает издание CNews. Установки, которые планируется создать, предназначены для реализации технологии производства микроэлектронных приборов с проектной нормой 90 нанометров, а также для замены отечественного оборудования прошлых лет и импортозамещения.
Начнем с того, что сотрудники НИИТМ с участием сибирских физиков-ядерщиков уже приступили к созданию экспериментального образца установки среднетокового имплантера, основываясь на эскизном проекте, который они разработали. Также они уже приступили к разработке высоковольтного имплантера. Планируется изготовить и испытать первые экспериментальные образцы установок в 2025–2026 годах, чтобы удостовериться, что они соответствуют требованиям технологии. Эти имплантеры смогут покрывать диапазон энергий однозарядных ионов, необходимых в технологии масс, от бора до сурьмы, включая энергии от 0,2 до 270 килоэлектронвольт для среднетоковой установки и от 10 до 1 тысячи килоэлектронвольт для высокоэнергетической установки.
В публикации отмечается, что для дальнейшего развития работ планируется создание опытных образцов и организация серийного производства отечественных имплантеров, которые не будут уступать современным зарубежным образцам по производственным возможностям. Таким образом, технологический суверенитет России будет повышен. Финансирование создания отечественного оборудования для ионной имплантации осуществляется за счет средств Минпромторга России. Конкретный объем финансирования не указывается в статье.
Источник и фото: https://www.netall.ru
Начнем с того, что сотрудники НИИТМ с участием сибирских физиков-ядерщиков уже приступили к созданию экспериментального образца установки среднетокового имплантера, основываясь на эскизном проекте, который они разработали. Также они уже приступили к разработке высоковольтного имплантера. Планируется изготовить и испытать первые экспериментальные образцы установок в 2025–2026 годах, чтобы удостовериться, что они соответствуют требованиям технологии. Эти имплантеры смогут покрывать диапазон энергий однозарядных ионов, необходимых в технологии масс, от бора до сурьмы, включая энергии от 0,2 до 270 килоэлектронвольт для среднетоковой установки и от 10 до 1 тысячи килоэлектронвольт для высокоэнергетической установки.
В публикации отмечается, что для дальнейшего развития работ планируется создание опытных образцов и организация серийного производства отечественных имплантеров, которые не будут уступать современным зарубежным образцам по производственным возможностям. Таким образом, технологический суверенитет России будет повышен. Финансирование создания отечественного оборудования для ионной имплантации осуществляется за счет средств Минпромторга России. Конкретный объем финансирования не указывается в статье.
Источник и фото: https://www.netall.ru
